MEMS傳感器設(shè)計(jì)：COMS-MEMS工藝仿真培訓(xùn)課程
-
-
培訓(xùn)對(duì)象： MEMS設(shè)計(jì)工程師、傳感器研發(fā)人員、微系統(tǒng)工程師、工藝集成工程師。
-
-
培訓(xùn)目標(biāo)：
-
理解MEMS傳感器的工作原理和設(shè)計(jì)流程。
-
掌握COMS-MEMS工藝仿真方法。
-
能夠進(jìn)行多物理場(chǎng)耦合分析（機(jī)電、熱、流）。
-
具備MEMS版圖設(shè)計(jì)和工藝優(yōu)化能力。
-
-
培訓(xùn)內(nèi)容介紹：
-
一、MEMS技術(shù)概述： 了解MEMS的應(yīng)用領(lǐng)域（加速度計(jì)、陀螺儀、壓力傳感器、麥克風(fēng)），掌握體微機(jī)械加工和表面微機(jī)械加工工藝。
二、MEMS設(shè)計(jì)流程： 掌握MEMS設(shè)計(jì)的完整流程（概念設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)、多物理場(chǎng)仿真、版圖設(shè)計(jì)、驗(yàn)證）。
三、COMSOL Multiphysics for MEMS： 熟悉COMSOL在MEMS仿真中的應(yīng)用，掌握MEMS模塊的基本功能。
四、靜電驅(qū)動(dòng)分析： 進(jìn)行靜電-結(jié)構(gòu)耦合分析，計(jì)算靜電驅(qū)動(dòng)力、吸合電壓（Pull-in）、電容變化。
五、壓阻效應(yīng)仿真： 模擬壓阻式壓力傳感器的應(yīng)力分布和電阻變化，優(yōu)化壓阻條位置和方向。
六、諧振模態(tài)分析： 計(jì)算MEMS結(jié)構(gòu)的固有頻率和振型，優(yōu)化諧振式傳感器的靈敏度。
七、阻尼效應(yīng)分析： 分析空氣阻尼對(duì)MEMS動(dòng)態(tài)響應(yīng)的影響（品質(zhì)因數(shù)Q），優(yōu)化封裝真空度。
八、熱-結(jié)構(gòu)耦合分析： 模擬熱致動(dòng)器的溫度場(chǎng)和熱膨脹變形，優(yōu)化熱效率和響應(yīng)速度。
九、工藝仿真（Process Simulation）： 模擬刻蝕、沉積、鍵合等工藝步驟，預(yù)測(cè)工藝對(duì)結(jié)構(gòu)尺寸的影響。
十、版圖設(shè)計(jì)（Layout）： 使用L-Edit或Cadence進(jìn)行MEMS版圖設(shè)計(jì)，考慮工藝設(shè)計(jì)規(guī)則和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
十一、系統(tǒng)級(jí)仿真： 將MEMS模型與讀出電路（ASIC）進(jìn)行聯(lián)合仿真，評(píng)估系統(tǒng)性能。
十二、實(shí)戰(zhàn)項(xiàng)目：電容式加速度計(jì)設(shè)計(jì)： 完成從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、多物理場(chǎng)仿真到版圖輸出的完整流程。
如果您想學(xué)習(xí)本課程，請(qǐng)
預(yù)約報(bào)名
如果沒找到合適的課程或有特殊培訓(xùn)需求，請(qǐng)
訂制培訓(xùn)
除培訓(xùn)外，同時(shí)提供相關(guān)技術(shù)咨詢與技術(shù)支持服務(wù)，有需求請(qǐng)發(fā)需求表到郵箱soft@info-soft.cn,或致電4007991916
技術(shù)服務(wù)需求表下載請(qǐng)點(diǎn)擊
服務(wù)優(yōu)勢(shì)：
豐富專家資源，精準(zhǔn)匹配相關(guān)行業(yè)，相關(guān)項(xiàng)目技術(shù)精英，面向用戶實(shí)際需求，針對(duì)性培訓(xùn)或咨詢，互動(dòng)式交流，案例教學(xué)，精品小班，實(shí)際工程項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)分享，快捷高效，節(jié)省時(shí)間與金錢，少走彎路與錯(cuò)路。
專家力量：
中國(guó)科學(xué)院相關(guān)研究所高級(jí)研究人員
西門子，TI,vmware，MSC,Ansys，MDI，Mentor, candence,Altium,Atmel 、Freescale,達(dá)索，華為等
大型公司高級(jí)工程師，項(xiàng)目經(jīng)理，技術(shù)支持專家
中科信軟培訓(xùn)中心，資深專家或講師
大多名牌大學(xué)，碩士以上學(xué)歷，相關(guān)學(xué)歷背景專業(yè)，理論素養(yǎng)高
多年實(shí)際項(xiàng)目實(shí)踐，大型復(fù)雜項(xiàng)目實(shí)戰(zhàn)案例分享，熱情，樂于技術(shù)分享
針對(duì)客戶實(shí)際需要，真實(shí)案例演示，互動(dòng)式溝通，學(xué)有所值
